ブックタイトルLABORATORY_vol2

概要

LABORATORY_vol2

486クリーンエアーに関する規格，指針Clean Facilities Related Equipmentドラフトチャンバー排気ガス処理装置排風機実験台戸棚・薬品庫・ワゴンクリーン・ハザード・環境試験施設／機器動物関連施設／機器医学研究・検査施設・RI施設グローブボックス廃水処理装置メンテナンス技術資料さくいん概要・ガイドクリーンルーム・クリーンベンチクリーンユニットパスボックス・エアシャワーバイオハザード対策■清浄度の規格現在日本においては，クリーンルームにおける空気清浄度を表す規格は統一されていません。これまで長年使用されてきた米国連邦規格Fed.Std.209Eは，2001年に廃止され，国際統一規格であるISO規格に移行されていきます。しかし今後しばらくは，慣用的に使用されてきたFed.Std.209Eと，ISO方式を併用するものと考えられますので，規格によって異なる基準に注意しなければなりません。清浄度を表す主な規格は下記の通りです。●米国連邦規格209Eの要旨清浄度クラスの上限濃度清浄度クラス下記粒径より大きい粒子の単位空気量あたりの上限濃度0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5.0μm単位空気量単位空気量単位空気量単位空気量単位空気量SI表示米国表示(m 3）（ft 3）(m 3）（ft 3）(m 3）（ft 3）(m 3）（ft 3）(m 3）（ft 3）M1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283－－M1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00－－M2 3,500 99.1 757 21.4 390 8.75 100 2.83－－M2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0－－M3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3－－M3.5 100－－26,500 750 10,600 300 3,530 100－－M4－－75,700 2,140 30,900 875 10,000 283－－M4.5 1,000－－－－－－35,300 1,000 247 7.00M5－－－－－－100,000 2,830 618 17.5M5.5 10,000－－－－－－353,000 10,000 2,470 70.0M6－－－－－－1,000,000 28,300 6,180 175M6.5 100,000－－－－－－3,530,000 100,000 24,700 700M7－－－－－－10,000,000 283,000 61,800 1,750●国際規格ISO 14644-1の要旨：2015の要旨清浄度クラス（対象粒径範囲）測定粒径0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm1μm5μmクラス1 10 2－－－－クラス2 100 24 10－－－クラス3 1,000 237 102 35－－クラス4 10,000 2,370 1,020 352 83－クラス5 100,000 23,700 10,200 3,520 832－クラス6 1,000,000 237,000－35,200 8,320 293クラス7－－－352,000 83,200 2,930クラス8－－－3,520,000 832,000 29,300クラス9－－－35,200,000 8,320,000 293,000●ISOのクラス表示で米国連邦規格209Eのクラス表示に相当するものは次の通りです。ISO 14644-1クラス3クラス4クラス5クラス6クラス7クラス8米国連邦規格209Eクラス1クラス10クラス100クラス1,000クラス10,000クラス100,000●粒子径分布線（米国連邦規格209E例）ケミカルハザード対策恒温（恒湿）室低温室パッケージエアコン横軸の粒径より大きい粒子の濃度個／（ft個3／l）100,000(3,500)10,000(350)1,000(35)100(3.5)10(0.35)1(0.035)CLASS 100CLASS 10CLASS 1CLASS 100.000 100,000CLASS 10.000 10,000CLASS 1.000 1,000約30cm1 f t 3Fed.Stand.209D1立方フィート(28.3リットル)あたり何個？清浄度の測定機器パーチクルカウンター米国連邦規格Federal Standard 209D（1988年）1キュービックフィート（立方フィート）中の0.5μm以上の粒子数に基づく指数。2000年には廃止されていますが，現在一般的に用いられる基準です。※1feet=0.3048m 1立方feet=28.3リットルクラス1～100,0001m 3ISO方式1m 3あたり何個？0.10.01 0.1 1 10粒子径（μｍ）※10個／ft 3（0.35個／l）以下の濃度のときは，サンプル量が大きくない限り測定値の信頼性は低い。国際標準化機構ISO 14644-1JIS規格が取り入れられ，ISO規格では，1m 3当たりの0.1μm以上の粒子が基準になっています。ISOクラス1～9http://www.shimadzu-rika.co.jp/＊商品によっては，送料や据え付け費用が必要となる場合もございます。詳細はお問い合わせください。